<span style="font-size:16px;">S</span>.P.E.E.D.<sup>TM </sup>1000 石墨舟自动上下料设备 - 南京华伯仪器科技有限公司
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  • S.P.E.E.D.TM 1000 石墨舟自动上下料设备

    首页 > 产品与服务 > 设备 > 内容展示

    HBI的S.P.E.E.D.TM 石墨舟自动上下料系统是S.P.E.E.D.TM 系列自动化设备中的一员。该设备用于电池生产中管式PECVD的自动装卸舟,并为印刷线提供自动装篮功能;适用于HBI管式PECVD及其他标准管式镀膜设备,并适合各种标准舟和标准花篮;其灵活设计亦适用于其他定制化工艺流程。

    S.P.E.E.D.TM 1000采用独特的高精度、高速度、高稳定性的TrETM 自动化技术和超净材料,提高硅片传输速度和精度,大幅降低硅片碎片率和表面沾污;其产能可达2000片/小时(10舟/小时),运行时间长;降低对熟练操作工的依赖;节省生产成本,提高生产效率。

    HBI成功实现了装篮和装舟过程的六轴机器人精密控制,采用了软接触和软着陆技术,并设计了先进的伺服和编码系统,以提高控制部件和机械部件的配合精度,从而确保装舟时的精确定位,实现低碎片率和低沾污率。 客户在选择HBI工艺设备的同时选用S.P.E.E.D.TM 1000自动化设备还可以降低开机调整时间,并获得HBI服务团队统一快速的专业支持。

    主要参数

    产能 2000片/小时(10舟/小时)
    正常运行时间 ≥ 98%
    碎片率 ≤ 0.1%
    硅片规格 156 x 156 mm ± 0.5 m m或125 x 125 mm ± 0.5mm, 180 μm
    石墨舟温度 < 60 °C (出舟冷却后)
    花篮规格 上片50片HBI花篮,下片50片Baccini料盒(或其他)
    电源 三相五线制50Hz,8KW
    工作温度 5 - 40 °C
    工作湿度 ≤ 55%
    净重 1,100 kg
    尺寸与占地面积 3100 x 2300 x 1850 mm,7.13㎡

    产品特点

    精密软着陆技术,HBI专利技术取/放片结构;柔性机器人装卸载,降低碎片率;HBI机器人力学伺服独到技术
    适用于各类石墨舟及叠片、各类花篮上下片模式,优选超净材料,降低硅片污染
    高端精密检测及伺服运动系统,确保高可靠性
    友好界面HMI,易安装、易操作、易维护
    结构紧凑、设计小巧,适合各类产线安装定位,尤其适合车间后期自动化改造

    客户价值

    大幅降低硅片碎片率,减少硅片的人工污染
    设备设计小巧,方便客户自动化改造
    降低人工成本,增加效益

     

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